發明
中華民國
095100302
I302197
酸鹼度對照之感測器,其製造方法,以及其應用
國立雲林科技大學
2008/10/21
一種酸鹼度對照之感測器,其製造方法,以及其應用。上述酸鹼度對照之感測器係一延伸式閘 極場效電晶體結構,包括:一金氧半場效電晶體,位於一半導體基底上;一感測元件,其包括 一基板,一固態導電離子感測薄膜位於該基板上,以及一聚口比咯薄膜固定於該固態導電離子 感測 薄膜上;以及一導線,連接該金氧半場效電晶體與該感測元件 A reference pH sensor, the preparation and application thereof. The reference pH sensor is an extended gate field effect transistor (EGFET) structure and comprises a metal oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET) on a semiconductor substrate, a sensing unit comprising a substrate, a conductive sensing layer on the substrate, and a polyrrole layer on the conductive sensing layer, and a metal wire connecting the MOSFET and the sensing unit.
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