使用相位光罩之顯微量測系統及方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098136761

專利證號

I 402478

專利獲證名稱

使用相位光罩之顯微量測系統及方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2013/07/21

技術說明

在本發明中設計一相位光罩，並使用液晶空間光調制器產生之，且使用在顯微條紋投影輪廓儀中，建構一套大深度量測範圍之形貌量測技術。為驗證相位光罩可建構大深度量測範圍之形貌量測，因此將相位光罩加入以顯微鏡為主體的條紋投影輪廓儀，並在其投影系統部分使用白光點光源，利用其理論上有景深無限長的特性，增加投影部份的景深；而在其影像擷取系統部分搭配相位光罩，並使用影像處理技術延長顯微鏡的景深。 透過實驗的證實相位光罩可增加顯微量測系統的景深，即使運用在三維形貌量測上，亦有很高精確值。因此有效解決因顯微鏡放大倍率高景深不足的問題，也大大提高量測微小元件之三維形貌的效率。

備註

本部(收文號1050019735)同意該校105年3月21日中產營字第1051400266號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學營運及推廣教育處

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