水氣阻障材

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

105134386

專利證號

I 606934

專利獲證名稱

水氣阻障材

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺北科技大學

獲證日期

2017/12/01

技術說明

在本篇研究中，我們使用聚對二甲苯(poly-para- xylylene)/鋅錫氧化物(ZTO)的有機無機複合膜，作為保護軟性電子元件阻隔水氣滲透的封裝膜。在製程方面使用化學氣相沉積的方式鍍製有機膜聚對二甲苯，直流磁控濺鍍鍍製無機膜鋅錫氧化物，有機/無機膜交互沉積於聚乙烯對苯二甲酸酯(PET)塑膠基板上。聚 對二甲苯薄膜的沉積步驟可分為兩個步驟，第一個步驟為在溫度650℃和腔內壓力低於30 mTorr的條件下，二聚體(di-para- xylylene)經由高溫裂解成兩個單體分子(para-xylylene)。接著這些單體分子於室溫下再自發性地進行聚合反應生成聚合物(poly-para- xylylene)沉積於塑膠基板上。以鋅錫合金靶材，在氬氣和氧氣的氣氛下，使用直流磁控濺鍍沉積鋅錫氧化物薄膜於塑膠基板上。探討直流功率、氧氣分量、和沉積速率的最適化關係。量測有機膜與無機膜的水氣穿透率(WVTR)、薄膜厚度、折射率、光穿透度和表面微結構。研究數據顯示，此有機無機複合膜能達到510 -5 g/m 2 day的水氣穿透率，比原塑膠基板少了0.00001倍。聚對二甲苯/鋅錫氧化物有機無機複合膜能有效地降低水氣穿透率，進而有效地應用於透明軟性電子元件的封裝膜上。 In this work, we have developed a novel transparent flexible organic-inorganic hybrid encapsulation barrier consisting of poly-para-xylylene/Zn-Sn-O hybrid for efficient protection of flexible electronic devices. The organic poly-para-xylylene (parylene-N) and the inorganic amorphous Zn-Sn-O (ZTO) layers were deposited alternatingly on polyethylene terephthalate (PET) substrate by using chemical vapor deposition (CVD) and reactive direct current (DC) magnetron sputtering techniques, respectively.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

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