發明
美國
ITRC
6514814B2
Capacitor containing amorphous and polycrystalline ferroelectric films and fabrication method therefore,and method for forming amorphous ferroelectric film
財團法人國家實驗研究院
2003/02/04
Capacitor containing amorphous and polycrystalline ferroelectric films and fabrication method therefore,and method for forming amorphous ferroelectric film Capacitor containing amorphous and polycrystalline ferroelectric films and fabrication method therefore,and method for forming amorphous ferroelectric film
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