浮動閘極式駐極體電容麥克風及其製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

093124797

專利證號

I 256265

專利獲證名稱

浮動閘極式駐極體電容麥克風及其製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2006/06/01

技術說明

一種浮動閘極式駐極體電容麥克風及其製造方法。該浮動閘極式駐極體電容麥克風包含一可電性連結於一電路板上的基 座，及一封裝於該基座中的電容式麥克風晶片，該電容式麥克風晶片是利用二相間隔的導體層及一形成在此二導體層間 的浮動閘極式駐極體形成電容，使當聲能作用時電容對應變化，而可轉換成電子訊號傳輸。該製造方法是利用半導體製 程與微機電製程在矽基材上形成浮動閘極式駐極體電容的電容式麥克風晶片，再將此電容式麥克風晶片封裝入一可電性 連結於電子產品之電路板的基座中，完成浮動閘極式駐極體電容麥克風的製備。

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

04-22851811

網址