線上放電削銳系統及其方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

108142196

專利證號

I 715298

專利獲證名稱

線上放電削銳系統及其方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣師範大學

獲證日期

2021/01/01

技術說明

本創作提出一種線上放電削銳方法，藉由線式放電加工，透由所設計的「線上放電銳化機構」與具高頻、高峰值與窄脈衝寬度的放電電源，開發出線上放電銳化技術，應用於晶圓切割用鑽石輪刀，鑽石輪刀在不拆卸情況下，可於短時間內，完成線上銳化工作。放電電源可輸出高頻、高峰值與窄脈衝寬度的放電波形，可使鑽石輪刀表面快速形成高密度火花熔蝕坑(屑袋)，並裸露出銳利的鑽石切刃，取代業界在刀具填塞後並直接拋棄的方式，對半導體產業有實質幫助，深具商業化價值。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作組

連絡電話

77341329

網址