三軸微型化奈米位移平台

專利類型

新型

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095204685

專利證號

M297285

專利獲證名稱

三軸微型化奈米位移平台

專利所屬機關 (申請機關)

中央研究院

獲證日期

2006/09/11

技術說明

本創新之三軸奈米位移平台, 除了可以提供奈米等級的微小步進距離, 且具有超過一公分的長 運動行程。其可運行於嚴苛的實驗條件下, 諸如: 超高真空,低溫,與高磁場。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉處

連絡電話

02-2787-2508

網址