水下聲響微感測器

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095132297

專利證號

I 293112

專利獲證名稱

水下聲響微感測器

專利所屬機關 (申請機關)

國立成功大學

獲證日期

2008/02/01

技術說明

一種水下聲響微感測器，該專利運用微機電製程技術製造應用於水下環境之聲響感測器。利用結構本身具有自然振頻特性，接受 接近結構自然振頻的特定頻率範圍的聲波時，感測器輸出訊號會產生較高的訊雜比，藉此接收水下聲波所傳遞之訊號內容。本專 利內容為配合微機電製程的面型加工技術製作出感測器結構，在薄膜的感測面鋪上適當的壓阻材料；採用金導線連接四個壓阻形 成惠斯敦電橋電路，其中兩個位於薄膜上方壓阻為感測端壓阻，因薄膜結構變形而產生阻值改變；並以背後蝕刻方式蝕刻出適當 厚度之懸浮薄膜結構；最後塗佈一層防水層Parylene，以符合水下操作環境。

備註

本部(收文號1030032705)同意該校103年5月7日1034500281號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

企業關係與技轉中心

連絡電話

06-2360524

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