微感測器MICRO SENSOR

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103142405

專利證號

I 553299

專利獲證名稱

微感測器MICRO SENSOR

專利所屬機關 (申請機關)

國立交通大學

獲證日期

2016/10/11

技術說明

本案提出以整合於基板上的可變電感取代梳指狀可變電容，做為微機電感測器的感測結構。以加速計為例，可變電感可以利用連接量塊與基板的彈簧結構繞線而成。當外力造成質量塊移動及彈簧變形時，電感繞線的面積改變而造成電感值變化。相較於梳指狀可變電容而言，當材料應力造成結構變形時，此電感結構的電感值變化較梳指狀結構的電容值變化來得小，因此可以改善感測器特性的差異及提高生產良率。此外，因為感測器中不需要使用梳指狀電容，可以減少整體面積及降低生產成本。本案利用電感線圈本身變形所造成的電感值變化做為感測機制，相對於其他利用感測線圈與一磁性物體間的相對位移所造成的電感值變化而言，具有構造簡單及材料相容性佳等優點，亦可減少製造成本。 This invention proposes a sensing mechanism based on a variable inductor integrated on the substrate. The shape of the inductor coil and thus its inductance are altered upon the action of the measurand. Compared with conventional sensing mechanism using comb-finger capacitors, this proposed sensing mechanism is less sensitive to the structural deformation caused by residual stress. Compared with conventional sensing mechanism using a variable inductor whose inductance variation is caused by the relative displacement of the coil and a magnetic material, this proposed sensing mechanism has the advantage of simple structure and compatibility with semiconductor fabrication technology.

備註

本會(收文號1110027136)回應該校111年5月12日陽明交大研產學字第1110015716號函申請終止維護專利(國立陽明交通大學)

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連絡電話

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