利用真空封裝與微致動器調整波長之小型外腔雷射系統Vacuum packaging of a compact external cavity laser system with wavelength tuning by using a micro-actuator

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

100105815

專利證號

I 470890

專利獲證名稱

利用真空封裝與微致動器調整波長之小型外腔雷射系統Vacuum packaging of a compact external cavity laser system with wavelength tuning by using a micro-actuator

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺北科技大學

獲證日期

2015/01/21

技術說明

本發明係有關於外腔雷射系統之真空封裝機制與波長調整機構。在真空封裝機制方面，其裝置之特徵在於使用一矽材料所製作的真空傳輸導線板應用於封裝外腔雷射系統上。在完成雷射系統封裝後，另外在波長調整機構方面，其裝置之特徵在於使用一矽材料所製作的微致動器應用於外腔雷射系統內。雷射光波長調整的連續性取決於所輸入到微致動器的電壓大小來決定的。當較大的電壓輸入到微致動器之後，其產生的位移也較大，而光柵向前產生的變形量也較大，因此波長改變量也較多。此外，微致動器元件的幾何尺寸大小將影響其受到輸入電壓時，所產生的變形量大小，進而影響雷射波長調整的大小，因此可藉由微致動器元件的幾何與尺寸設計來達到所需要的波長適當調整範圍。 This invention relates to the vacuum package and the wavelength tuning mechanism of a compact external cavity diode laser system. The characteristic of the device on vacuum package is to use a vacuum feedthrough silicon plate applied to the package of laser system. Thus, the laser system can sit in an isolated environment without any noise, air turbulence and air temperature change, result in having a long term stabilized laser frequency. The laser wavelength tuning can be achieved by the micro-actuator. The continuous wavelength tuning can be performed by applying different amount of the input electrical voltage to the micro-actuator. The appropriate wavelength tuning range can be achieved by designing the proper geometry and dimensions of the micro-actuator.

備註

本部(收文號1080026226)同意該校108年4月26日北科大產學字第1087900115號函申請終止維護專利

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