形成複晶矽堆疊結構之方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

088123425

專利證號

138656

專利獲證名稱

形成複晶矽堆疊結構之方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立交通大學

獲證日期

2001/08/11

技術說明

形成複晶矽堆疊結構之方法, 可應用產業：與半導體製造技術相關之產業(電容器、快閃記憶體)

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智慧財產權中心

連絡電話

03-5738251

網址