發明
中華民國
103100443
I 519387
線上複合電鍍電解銳化硏磨方法
國立中山大學
2016/02/01
一種線上複合電鍍電解銳化研磨方法,用以解決習知在研磨過程中,金屬材料耗損率高、複合鍍層厚度不易控制等問題。本發明之線上複合電鍍電解銳化研磨方法包含:提供一拋光基材、一金屬材料及一被加工件,並使三者浸泡於含有磨粒的電鍍液中;執行一研磨層生成步驟,電解該金屬材料,使該金屬材料所釋出的金屬離子與電鍍液中的磨粒共同沉積於該拋光基材,以於該拋光基材表面生成一複合鍍層;執行一研磨層分解步驟,電解該拋光基材的複合鍍層,使該複合鍍層釋出金屬離子以沉積回該金屬材料;及執行一研磨步驟,以該拋光基材的複合鍍層研磨該被加工件,直至該被加工件的表面粗糙度降低至一加工目標值為止,且研磨的過程中,係重覆交替執行該研磨層生成步驟及該研磨層分解步驟。 This invention comprises a polishing substrate, a metal material and a work-piece, which are soaked in a plating bath with abrasive particles. The following procedures are performed: The metal ions electrolyzed from the metal material with the abrasive particle are co-deposited into a composite electroplating layer on the polishing substrate. The composite electroplating layer is electrolyzed, so that the metal ions are released from the composite electroplating layer and then deposit on the metal material. The composite electroplating layer on the polishing substrate is used to grind the work-piece, so that the surface roughness of the work-piece achieves the preset value. In this grinding process, the procedures to generate and to electrolyze the composite electroplating layer are repeated alternately.
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