利用液相沉積製作太陽能電池的製備方法及其太陽能電池

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

109117360

專利證號

I 737311

專利獲證名稱

利用液相沉積製作太陽能電池的製備方法及其太陽能電池

專利所屬機關 (申請機關)

大葉大學

獲證日期

2021/08/21

技術說明

太陽能電池為乾淨無污染的再生能源，而在世界發生石油危機後大幅的發展。然而，因為太陽能電池的發電效率、製造成本、環境條件限制等因素，目前尚無法達到相當的普及化。其中，在發電效率與製造成本上，太陽能電池一直有著不可兼顧的困難，通常來說，發電效率好的太陽能電池，其製備成本較高；相對的，製備成本較低的太陽能電池，其發電效率也會比較差。而大部分的生產技術皆為利用真空製程來進行太陽能電池結構的製作，這樣的製程技術不僅耗時，且設備成本也較高。 除此之外，鈍化射極背面太陽能電池(Passivated Emitter and Rear Cell，PERC)的出現，也為太陽能電池開啟了一節新的篇章，其不僅具有高光電轉換效率，成本也跟一般的太陽能電池差異不大，其係在矽基板之正面形成射極層，並在射極層上利用真空製程技術製成抗反射層，防止光線在進入射極層之前因反射而被減損，進而提高光電轉換之效率，後續再對該矽基板之背面進行鈍化處理而形成鈍化層，且鈍化層上利用真空製程技術製成保護層，以保護鈍化層不受到後續電極網印與燒結而損壞。然而，PERC太陽能電池也是以真空製程技術進行製作，生產成本無法大幅度的降低，且因製程步驟繁複，生產的速度、效率也無法有效提升。 本發明專利 ” 利用液相沉積製作太陽能電池的製備方法及其太陽能電池(I737311)”，以液相沉積法單步驟製備PERC太陽能電池正面抗反射層及背面保護層，進而減少製程步驟，其方法具備(a)設備簡單、製程便宜; (b)低溫製程(~40˚C)，適用於任何基材; (c)薄膜均勻性高，不受基板尺寸及形狀影響; (d)薄膜附著性良好及擇性鍍膜之特性; (e)利用化學性反應進行薄膜沉積，可搭配各種薄膜(TiOx, TiSiOx, SiOx, SiNx, SiON等)，特別是液相沉積法所製備出的TiOx薄膜，具有優良的反射率、穿透綠和折射率。非常適用於PERC太陽電池之生產流程，可以大幅降低設備成本及批次大面積鍍膜之方式進行量產，進而達成優化製程效率的功效。

備註

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