雷射干涉儀檢測角度誤差之裝置與方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098118965

專利證號

I 398622

專利獲證名稱

雷射干涉儀檢測角度誤差之裝置與方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2013/06/11

技術說明

一種雷射干涉儀檢測角度誤差之裝置與方法，主要包括一個雙光束雷射干涉儀、多個角隅稜鏡與多個反射鏡，雙光束雷射干涉儀儀所射出的兩道光束，分別射入角隅稜鏡後，產生反射光束至對應之反射鏡，再經由該反射鏡將各反射光束射至該角隅稜鏡，最後會獲得二位移量；當待測系統產生角度誤差時，二位移量之數值會產生差異，將二位移量相減，就能得到相對之位移量，再透過三角函數計算，即可檢測待測系統之俯仰度誤差(Pitch)、偏搖度誤差(Yaw)。

備註

本部(收文號1060025200)同意該校106年4月14日虎科大智財字第10634000590號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

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