新型
中華民國
099135239
I 418674
長晶爐之供氣裝置
國立中央大學
2013/12/11
晶體內若含有雜質濃度過高,將不利於晶體品質。既有技術中晶體生長時控制雜質方法為提高原料純度或隔絕雜質融入熔湯,本技術係基於熱流理論基礎,以數值模擬方法求解並瞭解長晶爐體熱場特性,與雜質產生與傳輸機制。部分熔湯內雜質受熱會從自由表面(熔湯與氣體界面)氣化,透過熱力平衡原理,可將長晶爐體內輸氣管長度延伸至自由液面上方,使自由表面與輸氣管間距離縮短,加速熔湯氣化雜質-氣體混合氣體流出爐體,來降低與控制雜質濃度。
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