發明
中華民國
097111345
I 364807
振動驅動的微定位機構
國立中興大學
2012/05/21
一種振動驅動的微定位機構,是適用於由一振盪器驅動,進而將一微小元件定位於一基板內,該振動驅動的微定位機構包含一包括一推桿之定位單元,及一第一驅動單元。該第一驅動單元是沿該軸線方向與該定位單元間隔設置,並包括二對第一凸塊、二對分別與該等第一凸塊相連接之第一變形桿,及一與該等第一變形桿相連接之驅動桿,該等第一變形桿在該振盪器以一第一振動頻率振動該基板後將產生響應而變形,並藉以使該驅動桿沿該軸線方向頂抵該推桿,進而將該微小元件推至定位,如此,可使每一微小元件在相同時間內定位,因而具有較佳之定位效率。
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