多功能雷射量測裝置及其方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

103107551

專利證號

I 583928

專利獲證名稱

多功能雷射量測裝置及其方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立陽明交通大學

獲證日期

2017/05/21

技術說明

本發明提供一種多功能雷射量測裝置，包括：一分光裝置，用於將一入射雷射光束分成一第一雷射光束、一第二雷射光束以及一第三雷射光束；一第一量測器，用於接收該第－雷射光束；一第二量測器，用於接收該第二雷射光束；以及一第三量測器，用於接收該第三雷射光束，其中該分光裝置具有一切角分光鏡。另一方面提供一種多功能雷射量測方法還亥方法包括：提供一具有一切角分光鏡的一光路調整裝置；使用該光路調整裝置將一入射光路分成一第一光路、一第二光路以及一第三光路；將一第一量測器設置在該第一光路上；將一第二量測器設置在該第二光路上；以及將第三量測器設置在該第三光路上。另提供一種多功能雷射量測裝置，包括：一分光裝置，具一切角分光鏡，用於將一入射雷射光束分成三雷射光束；以及三量測器，用於同時量測該三雷射光束所具備該入射雷射光數之三個特徵。