形成光纖光柵化學氣體感測器之製程

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095111510

專利證號

I309297

專利獲證名稱

形成光纖光柵化學氣體感測器之製程

專利所屬機關 (申請機關)

逢甲大學

獲證日期

2009/05/01

技術說明

一種形術光纖光柵化學氣體感測器之製程,其主要係藉由一化學感織物質聚苯胺塗覆撬蝕刻後的光纖光柵表面上,形成一化學感測薄膜層,來偵檢揮發性氣體的濃度與溫度,其係在感光性光纖經高壓載氫處理後,運用相位光罩法寫製出一起結構型光織光柵。並經氫氟酸溶液蝕刻將光纖纖殼層腐蝕至直徑約15μm。再將聚苯胺生長在光纖光柵表面上,製作出一聚苯胺薄膜的包層,藉以有效減少感測所需之週邊設備及縮小感測端點的體積,並避免霧氣與外部可見光源強度的影響,而達到簡化感測器複雜度及提高感淵精確度,降低感測器所需之成本之特性者。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

(04)24517250-6811

網址