低應力拋光裝置LOW-STRESS POLISHING DEVICE

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

12/071,423

專利證號

US 7,695,351 B2

專利獲證名稱

低應力拋光裝置LOW-STRESS POLISHING DEVICE

專利所屬機關 (申請機關)

國立中正大學

獲證日期

2010/04/13

技術說明

本發明系與晶圓之研磨拋光技術有關，特別是指利用電磁式/壓電式振動器所產生的振動來進行拋 光之一種電磁振動式低應力拋光裝置。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術移轉授權中心

連絡電話

05-2720411轉16001

網址