擬側場激發聲波之感測電極組、感測元件及其感測裝置SENSING ELECTRODE ASSEMBLY OF PSEUDO LATERAL FIELD EXCITED ACOUSTIC WAVE, SENSING ELEMENT AND SENSING DEVICE THEREOF

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099139000

專利證號

I 422819

專利獲證名稱

擬側場激發聲波之感測電極組、感測元件及其感測裝置SENSING ELECTRODE ASSEMBLY OF PSEUDO LATERAL FIELD EXCITED ACOUSTIC WAVE, SENSING ELEMENT AND SENSING DEVICE THEREOF

專利所屬機關 (申請機關)

大同大學

獲證日期

2014/01/11

技術說明

過去已有不同型式的聲波震盪器被提出，並應用在生化感測上，包括石英晶體微天平（Quartz Crystal Microbalance, QCM）及側場（Lateral Field Excited, LFE）聲波感測器。石英晶體微天平具有兩個電極，藉以傳遞交流電訊號，分別布於壓電晶片的兩表面。然而，由於此型態的電極配置使得大部分的電場都分佈在壓電晶片中，導致無法感測外載的電性變化。側場聲波感測器也具有兩個電極，藉以傳遞交流電訊號，但布於壓電晶片的同一表面上，雖然改善了石英晶體微天平的缺點-無法感測外載的電性變化，但卻因阻抗值過高，導致無法穩定於空氣中振盪。有鑑於此，本專利提出一創新聲波感測器，名為擬側場激發（Pseudo Lateral Field Excited, PLFE）聲波感測器，具有三個電極，其中負責傳遞交流電訊號的兩個電極布於壓電晶片的同一表面上，因此屬於側場激發型式，第三個電極則鍍於壓電晶片的另一表面，不接訊號，為浮動（floating）電極。由於第三個電極的存在，使得壓電晶片裡的電場不完全平行於表面，仍有垂直表面的分量，藉以達成穩定震盪與感測外載電性變化。 A novel acoustic wave sensor, namely pseudo lateral field excited acoustic wave sensor, is proposed. The sensor includes a piezoelectric substrate and three electrodes. A pair of electrodes is deposited upon a reference surface of the piezoelectric substrate for signal input and output. The third electrode is floating and deposited upon a sensing surface. The sensing surface opposite to the reference surface is adapted to be immersed in an environment, such as a gas or a liquid.

備註

本部(發文號1090021434)同意貴校108年12月12日大同研字第1080010546號函申請終止維護專利。

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研發處

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