電性掃描探針顯微鏡裝置ELECTRICAL SCANNING PROBE MICROSCOPE APPARATUS

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

11/121,102

專利證號

US 7,193,424 B2

專利獲證名稱

電性掃描探針顯微鏡裝置ELECTRICAL SCANNING PROBE MICROSCOPE APPARATUS

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2007/03/20

技術說明

本發明提供一種電性掃探針顯微鏡裝置.上述顯微鏡裝置包括一原子力顯微鏡置,利用長波長雷射光源做為表面成像架 構以取得一表面形貌影像,以及一電性掃描偵測感測裝置,以取得同步對表面形貌影像之二維電性影像.

備註

1. 計畫來源：科技部公務預算-奈米元件研究與技術人才培育服務計畫（計畫主持人：施敏） 2. 發明人：張茂男 本部(收文號1050055769)同意該院105年8月2日國研業字第1050102117號函申請終止維護專利24件(國研院)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

02-66300686

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