微球透鏡與其陣列的製造方法FABRICATING METHOD OF MICRO-BALL LENS AND ITS ARRAY

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102101962

專利證號

I 483003

專利獲證名稱

微球透鏡與其陣列的製造方法FABRICATING METHOD OF MICRO-BALL LENS AND ITS ARRAY

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2015/05/01

技術說明

本發明係有關一種製作微球透鏡陣列之製法，首先利用黃光微影技術於基板表面形成微圓孔圖案陣列，第二步驟於沉積金屬層覆蓋其上。第三步驟利用舉離(Lift-off)法與去除光阻，形成金屬膜之微孔洞(Micro-hole)陣列。第四步驟於微孔洞陣列中，經黃光微影置入透鏡材料，且進行熱融回流(Thermal Reflow)。藉由沉積之金屬與基板親水性的差異形成微球狀陣列結構，利用金屬膜之微孔洞陣列訂出熱熔擴散範圍，得以將柱形光阻轉換成球形。 This invention describes a method for fabricating micro-ball lenses. First, the lithography process is used to create micro-cylindrical pattern on a substrate. Second, a metal film then is deposited on the substrate. Third, lift-off process and photoresist removal can pattern micro-hole array in metal film. Fourth, micro-cylindrical pattern in photoresit is formed and follows a thermal reflow may result in micro-ball lens and its array formation. Since the different hydrophilicity existing between the substrate and metal film, the micro-hole array patterned can define micro-ball lens based diameter and formed the photoresist columns to transform to ball lens shape.

備註

本部(收文號1090023163)同意該校109年4月20日興產字第1094300209號函申請終止維護專利(中興)

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