發明
美國
10/658,254
US 7,142,738 B2
整合型之分析晶片及其製造方法INTEGRATED ANALYTICAL BIOCHIP AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
國立成功大學
2006/11/28
本發明係提供一種具有整合光纖結構之生物檢測分析晶片及其製造方 法,以快速且低成本的製程方式將微型元件(加熱器及溫度感測器)整 合於PCR之反應槽內,以複製DNA,並與毛細管電泳(CE)管道及光纖整 合於同一晶片之上,以從事快速DNA之檢測及分析。本發明利用微機電 系統製程在晶片中形成微型反應槽,並在反應槽內沉積微型溫度感測 器及微型加熱器,再與IC控制器結合,在晶片上形成微型溫度控制系 統。利用晶片反應槽內之微型加熱器對槽中樣本加溫,並以槽內之微 型溫度感測器即時量取槽中樣本溫度,回饋信號至同一晶片上之IC控 制器,並對微型加熱器進行控制,以維持槽內樣本溫度為一定值,再 透過PCR不同溫度之循環變化,可對槽中特定樣本產生DNA複製效應。 複製後之DNA以電滲透流驅動方式推入毛細管電泳管道中,以高電壓進 行電泳分離;並將光纖整合於毛細管後段,可外接檢測光源及光偵測 器,檢測不同DNA片段之光強度值,進行即時檢測分析。 This invention describes a novel miniaturized total analysis system with integration of an optical detection system and its fabrication process. A low-cost and rapid fabrication process using micro-electro-mechanical-system (MEMS) technologies has been developed to fabricate the micro bio- analytical system. The system is composed of the following modules, including (1) a micro chamber for replication of DNA samples, (2) an integrated micro heater and a temperature sensor for temperature control, (3) integrated micro capillary electrophoresis (CE) channels for sample separation, and (4) an integrated optical detection system for signal detection. A small amount of DNA samples are replicated inside the micro chamber under precise temperature control using polymerase-chain-reaction (PCR) techniques.
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