製備氧化鋅薄膜之方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097139081

專利證號

I 389848

專利獲證名稱

製備氧化鋅薄膜之方法

專利所屬機關 (申請機關)

南臺學校財團法人南臺科技大學

獲證日期

2013/03/21

技術說明

隨著平面顯示器的發展與進步，Transparent Conducting Oxide(TCO)更扮演著重要的角色。TCO成膜的方式很多，如：磁控濺鍍法、熱蒸鍍、脈衝雷射沈積法、噴霧熱解法和溶膠凝膠法等。不過，適合大量生產且已產業化的只有磁控濺鍍法與溶凝膠法，尤其是前者。本專利選用溶膠-凝膠法因成本低廉、可量產並有利於大面積塗佈的方法，大量製作薄膜，受到產學界相繼投入研究透明導電膜。在傳統製程上是使用高溫爐或加熱板將有機物質蒸發，溫度為400-700℃、時間為10-30min，再完成多次覆膜之後放置高溫爐抽真空進行熱退火。本專利改變熱處理方式，使用紅外線加熱來進行前段熱處理。利用基板快速升溫方式將有機物質快速去除而得到氧化鋅晶體，得到高透明與低電阻率透明導電薄膜。

備註

本部(收文號1070082598)同意該校107年11月28日南科大研產字第1070015636號函申請終止維護專利。

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研究發展暨產學合作處

連絡電話

06-2531841

網址