發明
中華民國
092133123
I247165
奈米粒子及奈米孔穴組裝之彩色濾光片之製法
財團法人國家實驗研究院
2006/01/11
本發明揭露一種奈米粒子組裝之彩色濾光片之製法,主要有二種方式:一為在石英基板(fused silica substrate)或玻璃 上以自組裝(self–assembly)技術形成一層奈米粒子,利用灰階光罩(gray level mask)形成不同粒徑之區域,以作紅、 藍、綠之透光區域,其二為在玻璃(glass)上利用黃光微影蝕刻技術或奈米照膜印製(nano imprint)形成三種不同孔徑之 奈米孔穴之濾光光柵陣列,再於其表面及孔穴內之側壁鍍上一層金屬,形成金屬波導光柵陣列,以調變其透光率而形成紅、 藍、綠三原色之透光區域,作為濾光片之用。
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