多晶矽薄膜之製作方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094123215

專利證號

I255508

專利獲證名稱

多晶矽薄膜之製作方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺灣大學

獲證日期

2006/05/21

技術說明

本發明係發展朱以規則排列之金屬光子晶體陣列,來誘使非晶矽成長晶 粒大 小均勻之多晶矽薄膜技術,可用於TFT-LCD平面顯示器或主動式矩陣有 機發 光顯示器上.

備註

本部(收文號1100033534)同意該校110年6月9日校研發字第1100036312號函申請終止維護專利(台大)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作總中心

連絡電話

33669945

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