發明
中華民國
109126945
I 759815
彈性導電柱體、製造方法及使用其的探針卡
國立清華大學
2022/04/01
一種彈性導電柱體包含:表面改質過的奈米富勒球體、表面改質過的奈米金屬顆粒及表面改質過的石墨烯,各自具有表面官能基;及高分子材料,將表面改質過的奈米富勒球體、奈米金屬顆粒及石墨烯交聯在一起而形成一柱狀結構,藉由表面官能基以增加表面改質過的奈米富勒球體、奈米金屬顆粒及石墨烯彼此間的鍵結,以增加電子傳遞路徑,並增加高分子材料和表面改質過的奈米富勒球體、表面改質過的奈米金屬顆粒及表面改質過的石墨烯的附著強度。亦一併揭露彈性導電柱體的製造方法及使用彈性導電柱體的探針卡。 An elastic and electroconductive pin includes urface-modified nano-fullerene spheres, surface-modified nano-metal particles and surface-modified graphene each having surface function groups; and a polymeric material for crosslinking the surface-modified nano-fullerene spheres, nano-metal particles and graphene together to form a pin structure, wherein the surface function groups enhances bonding between the surface-modified nano-fullerene spheres, nano-metal particles and graphene to increase the transfer paths for electrons, and increasing the adhering strengths between the polymeric material and the surface-modified nano-fullerene spheres, surface-modified nano-metal particles and surface-modified graphene. A manufacturing method for the pin and a probe card using the pin are also disclosed.
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