靜電驅動微機電裝置之控制系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

10/101589

專利證號

6687112

專利獲證名稱

靜電驅動微機電裝置之控制系統

專利所屬機關 (申請機關)

國立交通大學

獲證日期

2004/02/03

技術說明

本發明有關一種靜電驅動微機電裝置之控制系統，其利用多塊電極板來控制靜電驅動微機電 裝置，亦即，將熟知兩平行板驅動電極之電容器的下方驅動電極板切割為若干小的電極板， 藉選擇用於所企望之靜電力的電極板圖案能根據不同的應用改變裝置之非線性而取得諸如線 性驅動，數位驅動，或最佳化驅動之特性，能在裝置具有有限精確度之先天限制下達成高度 的操作精確性。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智慧財產權中心

連絡電話

03-5738251

網址