氣體感測器

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

104101646

專利證號

I 530676

專利獲證名稱

氣體感測器

專利所屬機關 (申請機關)

長庚大學

獲證日期

2016/04/21

技術說明

目前已有許多相關石墨烯應用於氣體感測元件的研究，習知之電阻式氣體感測器的製作步驟為先沉積感測薄膜在基板上，再製作金屬電極的結構，使得感測薄膜面積較小，而且感測薄膜底層的感測材料也不能和待測氣體或蒸氣分子充分接觸，因此造成不夠靈敏以及會有較差偵測極限。故本發明提供一種電阻式氣體感測器，包含：一基板；一電極陣列，係形成於該基板的上表面；以及一石墨烯薄膜，披覆於該電極陣列上方；其中該石墨烯薄膜隨著該電極陣列高度、節距寬度而彎曲變化。由該石墨烯薄膜隨著下方該電極陣列高度(厚度)或節距而彎曲變化，因此增加了對待測氣體的接觸面積與表面官能基，進而提升響應的靈敏度與降低偵測極限。 The present invention provides a resistive gas sensor and comprises a substrate, an electrode array and a graphene film. The electrode array is formed on the surface of the substrate. The graphene film is coated on top of the electrode array. The graphene film bends depending on various electrode height and pitch width thereby increasing the contact area and surface functional groups of gas under test, enhancing the sensitivity and reducing the detection limit.

備註

本部(收文號1110021537)同意該校111年4月12日長庚大字第1110040097號函申請終止維護專利(長庚大學)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術移轉中心

連絡電話

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