利用白光點光源之物體表面三維形貌量測系統及方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095120647

專利證號

I 287079

專利獲證名稱

利用白光點光源之物體表面三維形貌量測系統及方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立中山大學

獲證日期

2007/09/21

技術說明

目前採用條紋投影(Fringe projection)原理、針對顯微物體所進行的形貌量測技術中，所 使 用之光源主要分兩種，一種是白光拓展光源（例如汞燈、鹵素燈），另一種為雷射光源。此 兩 種光源都有其難以抹滅之缺點，進而影響量測效益。以白光拓展光源作為照明設備，會造成 條 紋成像範圍之景深有限(limited depth-of-focus range)的情況，使得系統實際量測之縱深 範 圍有限。而以雷射光源作為投影系統之照明設備，雖然可以解決此項缺點，卻會因為雷射光 斑 (speckle)的存在，造成影像擷取時的雜訊，進一步影響形貌量測的精確值。因此本專利提 出，利用超短脈衝雷射搭配光子晶體光纖所形成的白光點光源，作為條紋投影系統的光源。 此 光源保有雷射的優點，亦即景深長及照明方向度高的優點，同時把雷射光斑造成的雜訊抹 除， 增加系統的準確性。此專利技術將可應用於半導體元件、微機電裝置與生醫科技（如生物細 胞）之形貌量測。

備註

依據103年4月30日該校來函申請終止維護並經本部同意(收創文號1030031427)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學營運及推廣教育處

連絡電話

(07)525-2000#2651

網址