面板三維瑕庛之線上檢測方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102118706

專利證號

I 490481

專利獲證名稱

面板三維瑕庛之線上檢測方法

專利所屬機關 (申請機關)

中原大學

獲證日期

2015/07/01

技術說明

本發明係關於一種面板三維瑕疵之線上檢測方法，其係用於對各式面板在製程中可能產生的瑕疵做自動化檢測，以確保其良率；其檢測手段在於使用光柵光源對移動中的面板做線掃描，透過結合投射條紋法以及具數條像素之線型影像擷取單元掃描擷取影像的技術，配合二或三條像素分別擷取的影像強度資訊，即取得面板外形輪廓之三維形貌，進而確認其瑕疵是否存在及其高度尺寸。本發明係關於一種面板三維瑕疵之線上檢測方法，尤指使用光柵光源對移動中的面板做線掃。 In this patent, a prototype of visual system utilizing the projected fringe topography technique via a linear CCD camera has been developed for in-line inspection of panel 3-D defects. In this system, a straight-line grating is projected onto a transnational object and the image of the grating is grabbed and integrated with a single-line CCD. This transfers the projected straight-line grating to a surface contour of the specimen. The contour map can be quantitatively analyzed using phase measuring technique via a multi-lines CCD. Since the measurement is executed on a translating object, it may be the best choice for on-line or in-process automated inspection for products conveyed by a transporting mechanism.

備註

本部(收文號1060055365)同意該校106年8月3日原產字第1060002554號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

產學合作暨專利技轉中心

連絡電話

(03)2651830

網址