檢測元件偏心的方法及系統

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095113852

專利證號

I 329194

專利獲證名稱

檢測元件偏心的方法及系統

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2010/08/21

技術說明

本案涉及以非接觸方式來檢測元件的表面幾何偏心的方法及其系統，其中所使用的檢測方法乃為利用數位取像鏡頭擷取沿著軸向改變刀口緣所造成的切割像點視場的明暗陰影圖，再由影像處理單元進行每個像素灰度分布計算，進而藉由數值擬合出受測元件的幾何中心，最後在經由比較與計算而獲得偏心誤差。本發明係關於一種以非接觸方式檢測元件幾何中心偏移量的方法與系統，尤指一種透過分析明暗陰影分布，並經過計算而找出元件的幾何中心偏移量的方法與系統。 A method and a system for inspecting the decenter of the component are provided. During the provided method, a digital image－collecting device is used to obtain the shadow diagram of the inspected component resulting from the change of the position of the knife－edge along the axis. After that, an image processing unit is used for calculating the gray level distribution of each pixel and the geometric center of the aspherical component could be obtained accordingly. Finally, the decenter error of the inspected component could be obtained after the relevant comparison and calculation.

備註

本部(收文號1060052140)同意該院106年7月25日國研授儀服院字第1060901102號函申請終止維護專利

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