溫度感測裝置及其製造方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

109137960

專利證號

I 782347

專利獲證名稱

溫度感測裝置及其製造方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2022/11/01

技術說明

本案係提供一種感測裝置，包含一基板，具有一第一側及相對於該第一側之一第二側，其中該第一側具有一溝槽；一紅外線能量吸收單元，設置於該溝槽上，且包含彼此交錯堆疊之複數金屬層及複數介電層、以及一熱電耦，其中最上層之金屬層包含一陣列金屬幾何圖案組合，且該陣列金屬幾何圖案組合包含複數具有特定尺寸及形狀之陣列金屬幾何圖案；以及一溫度感測單元，設置於該第一側之周圍，其中該熱電耦耦接於該溫度感測單元。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址