用於製備微機電系統的晶片及以此晶片製得的微機電晶片裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095106106

專利證號

I 295664

專利獲證名稱

用於製備微機電系統的晶片及以此晶片製得的微機電晶片裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立中興大學

獲證日期

2008/04/11

技術說明

此Double PAD設計方式保留了原本CMOS標準製程PAD功用，而同時增加了晶片後製程後之可靠性。

備註

本部(收文號1040089468)同意該校104年12月17日興產字1044300671號函申請終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術授權中心

連絡電話

04-22851811

網址