以高熱膨脹係數聚合材料製成之熱挫曲式微致動單元

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

095102347

專利證號

I 294016

專利獲證名稱

以高熱膨脹係數聚合材料製成之熱挫曲式微致動單元

專利所屬機關 (申請機關)

淡江大學學校財團法人淡江大學

獲證日期

2008/03/01

技術說明

本發明利用低溫面型微細加工技術製作一新型的熱挫曲式微幫浦，其構型為在液體流道中設計 一三明治結構式的振膜，作為驅動流體的施力憑藉。該振膜之中間層為加熱用金屬電阻，金屬 電阻之上下被不同厚度的聚對二甲苯 (parylene ) 材料所包覆。當上下不同厚度的 parylene 薄膜被金屬電阻加熱時，會造成薄膜上下層具有不同之升溫，產生非平面的熱挫曲 變形，而推動液體前進或後退； parylene 振膜前後搭配合適之逆止閥，即具有單向驅動液體 的微幫浦功能。此微型液體致動器尺寸小於 m m ， 驅動電壓在 10V 以下，工作溫度遠低 100 ℃ 以下；換言之，具有微小尺寸、低驅動電壓與低工作溫度等優點。

備註

106-02研發成果審查會同意終止維護專利

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

研究發展處

連絡電話

26215656分機2561

網址