檢測樣品表面缺陷之檢測系統及其檢測方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

101139153

專利證號

I 440844

專利獲證名稱

檢測樣品表面缺陷之檢測系統及其檢測方法

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2014/06/11

技術說明

本發明主要提供一種檢測系統，來檢測樣品表面之缺陷。檢測系統包含雷射聚焦模組、顯微物鏡模組、取像模組以及處理模組。雷射光源經聚焦模組後從相對樣品表面的一預定角度投射光源於樣品上，當雷射光照射於樣品表面上缺陷上時會產生散射光。再利用顯微物鏡模組配置於散射光之散射區域，以接收散射光。另外，檢測系統中包含一反射光擷取模組，以擷取反射光影像，擷取反射光影像後可由處理模組分系反射光影像之焦散曲線之直徑以計算樣品之各表面缺陷之尺寸。 An inspection system and method for inspecting the surface defects of the specimen is provided. The inspection system includes a laser focus module, a microscope objective module, an image pick-up module, and a process module. The laser focus module configured to emit laser beam on the specimen by a predetermined angle relative to a surface of the specimen, and to generate scattered light and reflected light when the laser beam irradiates on the surface defects of the specimen. The process module can calculate the real size of the defects by using the intensity information obtained from the image pick-up module and the microscope objective module or using the diameter information obtained from the reflected light image while the reflected light projects on a screen.

備註

本部(收文號：第1080068429號)同意該院108年10月17日國研授儀服院字第1080901827號函通報專利終止維護。

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

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