單一非球面共同光學元件曝光機鏡組

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

104113325

專利證號

I 550364

專利獲證名稱

單一非球面共同光學元件曝光機鏡組

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2016/09/21

技術說明

曝光鏡組係電子元件製作曝光機之重要次系統，惟目前全球電子元件製造廠商使用之曝光機分為全折射式及長伸式；前者體積大，後者雖可以減少元件數，但由於採用多面，故在製作與組裝上極為不易。長伸式曝光機，如德國ZEISS公司-ASML之方式（德國專利號DE19355198、DE19922209）與日本NIKON公司係以疊合式漸近曲率方式達到曝光之功能（如第3圖所示）；此外，為了節省材料，法國薩熱姆防務安全公司係採用DYSON折反式（中華人民共和國專利號CN101171546）將光路減少，使光在鏡組４０、５０內往返，因而減少鏡片之數量，惟在鏡組４０、５０及反射面２０、２２上必須採用二個非球面（如第4圖所示）；而上海微機電公司提出之曝光機（美國專利號US7746571 B2）所使用之方式也都採用類似之方式（或稱為長伸式）達到曝光之功能。然而，上述專利皆採用多個非球面鏡，其不僅在製作及組裝上困難，且在組裝時對機構之精度要求亦高，導致其製造成本高。故，ㄧ般習用者係無法符合使用者於實際使用時之所需。本發明係有關於一種等倍率共光路曝光機鏡組，尤指涉及一種採用單一非球面之共光路鏡組及一球面反射鏡和二組平面反射鏡疊合式組裝，特別係指以全球面鏡組及二種光學材料相互擺置完成之等倍率共光路曝光鏡組。 The present invention relates to a Same magnification common path exposure lens group, especially relates to a single aspheric the common path lens group and a spherical mirror and a second set of planar mirrors laminated-type assembly, in particular means the global mirror group and two kinds of optical materials with each other and other arrangements and completion of a total magnification of the optical path of the exposure lens group.

備註

本部(收文號1100044510)同意該院110年7月15日國研授儀服院字第1100901175號函申請終止維護專利(國家實驗研究院)

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