奈米級XY平台裝置

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

美國

專利申請案號

11/003,301

專利證號

7,295,495 B2

專利獲證名稱

奈米級XY平台裝置

專利所屬機關 (申請機關)

國立臺北科技大學

獲證日期

2007/11/13

技術說明

本專利使用光學讀寫頭為主要零件來進行XY平台的架設，其中以讀寫頭 中之音圈馬達來進行微小平台的驅動；並以內建於光學讀寫頭內，雷射 光路及四象限光感測器進行平台位置的量測，解析度可達到奈米級的解 析度。

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

專利技轉組

連絡電話

02-87720360

網址