氣體感測裝置及其製作方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

108117628

專利證號

I 695168

專利獲證名稱

氣體感測裝置及其製作方法

專利所屬機關 (申請機關)

長庚大學

獲證日期

2020/06/01

技術說明

本案提出一種電阻式的氣體感測裝置，透過在基板上進行含氟化合物的電漿處理 後，沉積金屬電極，並轉印石墨烯薄膜至電極與基板上，製作出本發明之氣體感測裝置。 藉此改善石墨烯對氣體的選擇比吸附特性，並調變電漿處理時間來達到感測特性最佳 化。 除此之外，設置於該絕緣層上的電漿層可呈現出陣列式的電漿層，意即絕緣層上的 同一平面可同時具有複數個電漿層，且透過改變四氟化碳（CF4）的改質時間，或使用 不同材料進行改質，以達到在同一感測裝置上量測不同氣體之最佳選擇比的目的。 關鍵字：氣體感測、陣列式氣體感測、四氟化碳（CF4）改質、耦合電漿-反應離 子刻蝕（ICP-RIE）、二維材料、石墨烯、氣體選擇比

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

技術移轉中心

連絡電話

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