發明
美國
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具零導電帶不連續值之磷化鎵銦/砷化鎵鋁/砷化鎵異質接面雙極性電晶體
國立成功大學
2004/09/14
磷化鎵銦/砷化鎵異質接面雙極性電晶體由於特有的高速操作及電 流承載能力,使其在微波功率及數位電路的應用上已引起顯著的成效 及 注意。雖然磷化鎵銦/砷化鎵異質介面導電帶不連續值僅有120mV (200~30mV),但此一導電帶不連續值所造成之位障尖峰仍會影響元件 之 電流-電壓特性,造成較大的集-射極補償電壓與較大的基-射極導通電 壓。於本發明案中,吾人首度提出一呈現低導通電壓、低補償電壓、 低 飽和電壓等良好電晶體特性之[具零導電帶不連續值之磷化鎵銦/砷化 鎵 鋁/砷化鎵異質接面雙極性電晶體]。該結構主要特徵即為結合下列各 項 材料優異之特性:(1)於晶格常數限制下,砷化鎵鋁化合物之鋁莫爾 分 率可以線性漸變方式做適度之調整,(2)磷化銦鎵與砷化鎵材料之高 蝕 刻選擇度與較低之介面陷阱中心密度,(3)當砷化鋁鎵化合物之鋁莫 爾 分率為0.11時,Al0.11Ga0.89As與In0.49Ga0.51P異質材料之導電帶不 連 續值為0。 InGaP/GaAs heterojunction bipolar transistors (HBT’s) have shown promise in the field of microwave power application. Although the typical magnitude of conduction- band discontinuity,
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