表面電漿波調制器及調制方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

098142788

專利證號

I 399533

專利獲證名稱

表面電漿波調制器及調制方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2013/06/21

技術說明

表面電漿共振是指入射光藉由光學耦合器，耦合入射至金屬表面，激發金屬層上的自由電荷，產生集體振盪的同調性擾動現象。表面電漿共振常被廣泛使用在生物檢測上，此技術具有即時（real time）、靈敏度高（high sensitivity）、免標定（labeled-free）、定量（quantitive）以及大量平行檢測（high throughput screening）...等應用。表面電漿可以由TM 極化光藉由均勻的稜鏡或光柵繞射耦合結構所激發出來。近幾年來，SPR已廣泛應用於各個領域上之研究，關於SPR研究之文獻也不斷在增長中。 表面電漿波（SPW）可由稜鏡耦合的方式來激發出來，不過由於一般使用稜鏡耦合須佔較的空間，靈敏度較低，且金屬與空氣的間隙難以控制。利用光柵式耦合的方法，可以縮小體積，作成一塊平面式的，且不須像稜鏡式須要精確地控制金屬層的厚度，靈敏度也可比稜鏡式的高出許對。要如何制作光柵式來達到更高的靈敏度以及更小的體積，是本文主要要探討的。 傳統的光柵式耦合結構，因使用壓印法，其高分子厚度D並不好控制，將會影響到共振角的最佳點。本技術提出另製光柵並將光柵反蓋於基板上面，其好 處為若光柵週期不合預期結果，可移開並重新更換，再另製一個新的，這樣就不會破壞一些原本的結構，且因光柵的厚度將影響共振角的耦合效率，而倒蓋式光柵，其厚度已知，故製做時厚度較好控制。

備註

本部(收文號1050013877)同意該校105年2月25日虎科大智財字第10534000260號函申請終止維護專利

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