發明
中華民國
100126046
I 444873
觸覺感測陣列及其製作方法
國立臺灣大學
2014/07/11
本發明提供一種觸覺感測陣列及其製作方法,其具有至少一感測元件,感測元件包含:覆蓋層、基板、聚醯亞胺膜層、第一電極、第二電極、奈米碳管層以及聚二甲基矽氧烷層。第一電極以及第二電極係形成於聚醯亞胺膜層,第一電極與第二電極係相間隔一距離。奈米碳管層係完全填滿第一電極與第二電極間。奈米碳管係有規則地排列於第一電極與第二電極間。利用介電泳使奈米碳管規則排列於兩電極間,藉由量測奈米碳管電阻改變率以感測其壓力值。 The novel sensing material is fabricated by aligning MWCNTs throughout polymer with the assistance of the DEP technique. Under an external pressure or temperature, the sensing material retained resistivity, which could be recovered to its original value by repeating dielectrophoresis.
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