雙光點檢測單元、應用該單元的檢測裝置及方法

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

097150853

專利證號

I 394943

專利獲證名稱

雙光點檢測單元、應用該單元的檢測裝置及方法

專利所屬機關 (申請機關)

國立虎尾科技大學

獲證日期

2013/05/01

技術說明

本發明所研發設計一種本發明係有關於一種應用於物體表面檢測之雙光點檢測單元、應用該單元的檢測裝置及方法，其係專門應用在物體表面形貌的檢測，其雙光點檢測單元包括有一雙光點產生模組，該雙光點產生模組係可朝同一方向產生二光束，並使其一該光束形成一大檢測光點，另一該光束形成一小檢測光點，其中，該大檢測光點及該小檢測光點同時入射至一待測物之表面，該大檢測光點用以供檢測其入射在該待測物的位置，而該小檢測光點則用以供做比對及校正該大檢測光點的檢測。再者，所應用的檢測裝置包括有至少一光電位置檢測元件、一信號檢測單元及一移動平台，該光電位置檢測元件供大小檢測光點入射而產生檢測信號，再以該信號檢測單元對該光電位置檢測元件所產生之檢測信號進行檢測。本發明整體組成均為目前科技技術水準所能達成，在廠商製造上確實可以完成及實現，因此本發明確實可供產業上充份利用。

備註

本部(收文號1060025200)同意該校106年4月14日虎科大智財字第10634000590號函申請終止維護專利

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