發明
中華民國
095111786
I269436
表面聲波元件用的基板
淡江大學學校財團法人淡江大學
2006/12/21
一種表面聲波元件用的基板,為一具有高排向壓電層之層狀基板,特徵在於該基板中的鑽石 層和壓電層間形成一用以提昇壓電層之附著性及平坦性的緩衝體。依據本發明所製得之基板 可適用於製作超高速表面聲波元件。
研究發展處
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