製程品質預測系統及其方法PROCESS QUALITY PREDICTING SYSTEM AND METHOD THEREOF

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

099115738

專利證號

I 407325

專利獲證名稱

製程品質預測系統及其方法PROCESS QUALITY PREDICTING SYSTEM AND METHOD THEREOF

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2013/09/01

技術說明

本發明係揭露一種製程品質預測系統及其方法。之前多個台灣及美國專利前案，僅述及如何預測機台的方法，其精準度不高，易受其他因素影響，且無法找出影響製程中成品之製造結果的重要關鍵參數。因此，目前於半導體製程中，一個能預測且分析出製程關鍵因素的方法是不可或缺的。當批次產品在一製程裝置進行製程動作時，利用量測裝置偵測正在製程動作中的製程參數，加上最近幾次數次的該產品實際量測值，以預測出正在生產的產品品質。本發明係利用滾動時間窗口來適應加工過程的漂移與偏移，以逐次回歸方法挑選影響製程的關鍵變數，以變異數分析方法來辨識預估模型。 The invention discloses a process quality prediction system and a method thereof. When a processing apparatus performs a process on a target, the process is measured by a measurement apparatus to receive a process value. The process value and several previous quality data collected from the measurement apparatus are used to predict the quality of the product which is processing inline. The method is composed of a moving window, a stepwise regression and an analysis of covariance (ANCOVA). The drift and shift of process are overcome by the moving window. A key variable set is selected by the stepwise regression and a virtual model is identified by the analysis of covariance.

備註

本部(收文號1090057669)同意該校109年9月15日清智財字第1099006426號函申請終止維護專利(清華大學)

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址