用於奈米轉印之低表面能材料

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

096110011

專利證號

I 368606

專利獲證名稱

用於奈米轉印之低表面能材料

專利所屬機關 (申請機關)

財團法人國家實驗研究院

獲證日期

2012/07/21

技術說明

一種用於奈米轉印之低表面能材料，係可同時利用一或兩個以上之氧代氮代苯并環己烷單體在一模板表面進行熱交聯反應，以形成可作為脫模劑之聚氧代氮代苯并環己烷薄膜，藉由該脫模劑分子降低表面自由能之機構，以克服該模板與高分子阻劑分離時之附著力問題，進而獲得良好之轉印圖形。此外，由於該氧代氮代苯并環己烷單體可完全溶於溶劑中，故不會有產生微粒之問題，並且該氧代氮代苯并環己烷在反應過程中亦不會產生副產物，所以能有效降低污染之發生。因此本發明係具有製程穩定性高、材料製備容易及原料成本低廉等優點。 The present invention provides a low surface energy material for nano-transfer printing which is capable of carrying out a thermal cross-linking reaction simultaneously using one or more benzoxazine monomer on a template surface to form a polybenzoxazine film which can be used as a release agent. The release agent may reduce the mechanism of surface free energy so as to overcome the adhesive force problem when separating the template and the polymer resist, thereby obtain excellent transfer printing patterns. In addition, the benzoxazine monomer can be completely dissolved in the solvent, so that no particles will be generated; besides, since the benzoxazine does not produce any byproduct, the occurrence of contamination can be effectively reduced. Therefore, this invention has the advantages of highly stable process, easy material preparation, and low cost.

備註

本部(收文號1080079312)同意該院108年12月11日國研授半導體企院字第1081301803號通報專利終止維護案。

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

國研院技術移轉中心

連絡電話

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