III族氮化物系布拉格反射鏡之製造方法及布拉格反射鏡

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

094142756

專利證號

I 299929

專利獲證名稱

III族氮化物系布拉格反射鏡之製造方法及布拉格反射鏡

專利所屬機關 (申請機關)

國立交通大學

獲證日期

2008/08/11

技術說明

本發明為使用插入氮化鋁/氮化鎵(AlN/GaN)超晶格到氮化鋁/氮化鎵反射鏡之結構，在以有機金屬化學氣相磊晶 (MOCVD) 成長此結構於藍寶石基板(Sapphire)上。整個反射鏡由20對氮化鋁/氮化鎵磊晶層構成並插入三組氮化鋁/氮化 鎵超晶格於消除張應力。每一超晶格相當一層氮化鋁鎵並與一層氮化鎵構成一對反射膜。超晶格的層厚為3到5nm。反射 鏡表面無裂縫且表面除粗糙度為2.5nm。峰值反射率為97%中心波長在399nm且stopband 寬度為14nm。藉由比較無氮化 鋁/氮化鎵超晶格的反射鏡，反射率從92%提高到97%由於插入氮化鋁/氮化鎵超晶格。這些高反射率之反射鏡是氮化鎵材 料系列垂直腔面射型雷射和發光二極體關鍵技術。

備註

本部(收文號1060016225)同意該校106年3月7日交大研產學字第1061002219號函申請終止維護專利

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