發明
中華民國
099123363
I 412615
以自組裝有機分子膜改質之基板成長晶相透明導電氧化物的方法FABRICATION METHOD OF CRYSTALLIZED TRANSPARENT CONDUCTING OXIDES (TCOs) ON SELF-ASSEMBLED ORGANIC LAYER MODIFIED SUBSTRATE
國立臺灣科技大學
2013/10/21
本技術乃是先以一種有機自組裝分子改質一基板表面(基板可為玻璃、半導體等),再於其上成長透明導電氧化物薄膜。藉此方法,可於低溫或室溫環境,以及較溫和的成長條件下,製作出具有高度晶相之透明導電氧化物薄膜。此技術的優點為:於製程過程中不需將基板加熱,因此,除了可減少耗能降低製程成本外,亦可適用於不耐熱之軟性基板。以此方式所製作出之透明導電薄膜,其導電性及透光性,均與傳統高溫製程所製作出之導電氧化物薄膜相近。
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