發明
中華民國
109136658
I 735358
磊晶薄膜的製造方法與磊晶薄膜Manufacturing method of epitaxial film and epitaxial film
國立成功大學
2021/08/01
本發明建立了精準控制材料側向磊晶的方法,藉由側向磊晶的控制,藉以改變材料之間的側向磊晶關係,調控材料系統的物理性質。
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