微機電共振器之主動式溫度補償方法及其共振器

專利類型

發明

專利國別 (專利申請國家)

中華民國

專利申請案號

102117759

專利證號

I 538396

專利獲證名稱

微機電共振器之主動式溫度補償方法及其共振器

專利所屬機關 (申請機關)

國立清華大學

獲證日期

2016/06/11

技術說明

提供一種微機電共振器的主動式溫度補償方法，包含以下步驟：提供一微機電共振器，微機電共振器之結構阻值隨環境溫度而變化；提供一電路電性連接微機電共振器，且電路提供一回饋調整機制至微機電共振器；環境溫度產生變化，令微機電共振器之結構阻值產生變化，且產生一結構阻值變化量；回饋調整機制提供一補償值，用以控制結構阻值變化量。其中，藉由控制結構阻值變化量，進而修正微機電共振器隨環境溫度變化產生之共振頻率偏移誤差量。 一種微機電共振器的主動式溫度補償方法，尤其是指一種控制結構阻值維持恆定藉以控制共振頻率的熱致動式微機電共振器的主動式溫度補償方法。 A MEMS resonator active temperature compensation method and resonator thereof is provided. The active temperature compensation method includes the following steps: a MEMS resonator is provided; an electric circuitry is connected to the MEMS resonator and providing an adjustment mechanism to the MEMS resonator; a temperature variance is occurred to the MEMS resonator, and thereby a structural resistance variance is formed; a compensation to the structural resistance variance is performed by the adjustment mechanism. In above method, the structural resistance is controlled to a constant value for controlling a resonant frequency of the MEMS resonator which is correlated with the temperature variance.

備註

連絡單位 (專責單位/部門名稱)

智財技轉組

連絡電話

03-5715131-62219

網址